Η τεχνολογία επαγωγικής επίστρωσης εξάτμισης υψηλής συχνότητας χρησιμοποιείται συνήθως για την επίστρωση εύκαμπτων υλικών λεπτής μεμβράνης. Είναι εξαιρετικά αποδοτικό, παράγει ομοιόμορφα στρώματα φιλμ και δεν παράγει σταγονίδια. Χρησιμοποιείται συχνά στον τομέα των συρμάτων χρυσού και αργύρου και αναφέρεται συνήθως ως εξοπλισμός επίστρωσης κενού περιελίξεων με επαγωγή εξάτμισης υψηλής συχνότητας.
Μια επαγωγική πηγή εξάτμισης υψηλής συχνότητας τοποθετεί ένα χωνευτήριο γραφίτη ή κεραμικό που περιέχει το υλικό εξάτμισης στο κέντρο ενός υδρόψυκτου σπειροειδούς πηνίου υψηλής συχνότητας. Κάτω από την επαγωγή του μαγνητικού πεδίου εντός της ζώνης υψηλής συχνότητας, το υλικό εξάτμισης δημιουργεί ισχυρές απώλειες δινορευμάτων και απώλειες υστέρησης (για σιδηρομαγνητικά υλικά), προκαλώντας τη θέρμανση του υλικού μέχρι να εξατμιστεί. Όσο μικρότερος είναι ο όγκος του υλικού φιλμ, τόσο μεγαλύτερη είναι η συχνότητα επαγωγής. Σε εξοπλισμό μεγάλης κλίμακας για συνεχή επιμετάλλωση αλουμινίου κενού σε χαλύβδινες ταινίες, η διαδικασία εξάτμισης με επαγωγική θέρμανση υψηλής συχνότητας έχει επιτύχει ικανοποιητικά αποτελέσματα.
Χαρακτηριστικά των πηγών εξάτμισης επαγωγής υψηλής συχνότητας:
1) Υψηλός ρυθμός εξάτμισης, περίπου 10 φορές ταχύτερος από τις πηγές εξάτμισης με αντίσταση.
2) Ομοιόμορφη και σταθερή θερμοκρασία, λιγότερο επιρρεπής σε πιτσίλισμα.
3) Όταν το υλικό εξάτμισης είναι μεταλλικό, παράγει θερμότητα.
4) Η εφάπαξ φόρτωση εξαλείφει την ανάγκη για μηχανισμό τροφοδοσίας, καθιστώντας τον έλεγχο θερμοκρασίας ευκολότερο και τη λειτουργία απλούστερη.
Η τεχνολογία επαγωγικής επίστρωσης εξάτμισης υψηλής συχνότητας είναι ένας τύπος επίστρωσης εξάτμισης και χρησιμοποιούνται διαφορετικές μέθοδοι επίστρωσης εξάτμισης ανάλογα με το πεδίο εφαρμογής. Ο εξοπλισμός επίστρωσης κενού από ρολό σε ρολό με επαγωγή εξάτμισης υψηλής συχνότητας είναι κυρίως μια τεχνολογία επίστρωσης και εξοπλισμός για την προετοιμασία υλικών λεπτής μεμβράνης από ρολό σε ρολό.
