Μηχανή επίστρωσης κενούαναφέρεται κυρίως σε έναν τύπο επίστρωσης που πρέπει να εκτελείται υπό σχετικά υψηλό βαθμό κενού, συμπεριλαμβανομένων πολλών τύπων, όπως εξάτμιση ιόντων κενού, διασκορπισμός μαγνητρονίων, επιταξία μοριακής δέσμης MBE, εναπόθεση επιμετάλλωσης με λέιζερ PLD κ.λπ. Η κύρια ιδέα είναι να τη χωρίσουμε σε δύο τύπους: εξάτμιση και εκτόξευση.
Η διαδικασία ντεγκραντέ χρώματος χρησιμοποιεί γενικά εξοπλισμό επίστρωσης με ψεκασμό μαγνητρόν. Επί του παρόντος, τα περιβλήματα ντεγκραντέ χρώματος πολλών μοντέλων κινητών τηλεφώνων όπως η Huawei και η Lenovo χρησιμοποιούν τη διαδικασία επίστρωσης με κενό αέρος PVD.
Η εκτόξευση μαγνητρονίων είναι ένας τύπος φυσικής εναπόθεσης ατμών (Physical Vapor Deposition, PVD). Η γενική μέθοδος ψεκασμού μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την παρασκευή μετάλλων, ημιαγωγών, μονωτών και άλλων υλικών και έχει τα πλεονεκτήματα του απλού εξοπλισμού, του εύκολου ελέγχου, της μεγάλης επιφάνειας επίστρωσης και της ισχυρής πρόσφυσης.
Η μέθοδος sputtering magnetron που αναπτύχθηκε τη δεκαετία του 1970 έχει επιτύχει υψηλή ταχύτητα, χαμηλή θερμοκρασία και χαμηλή ζημιά. Επειδή η εκτόξευση υψηλής-ταχύτητας εκτελείται υπό χαμηλή πίεση, ο ρυθμός ιονισμού αερίου πρέπει να αυξηθεί αποτελεσματικά. Η διασκορπισμός μαγνητρονίων εισάγει ένα μαγνητικό πεδίο στην επιφάνεια της καθόδου στόχου και χρησιμοποιεί το μαγνητικό πεδίο για να περιορίσει τα φορτισμένα σωματίδια για να αυξήσει την πυκνότητα του πλάσματος για να αυξήσει τον ρυθμό επιμετάλλωσης.
Η μηχανή επικάλυψης κενού Magnetron είναι ο πιο συχνά χρησιμοποιούμενος εξοπλισμός για την επίστρωση υπαρχόντων προϊόντων υπό συνθήκες κενού. Μια πλήρης μηχανή επικάλυψης κενού με ψεκασμό με μαγνητρόν αποτελείται από πολλαπλά μέρη του συστήματος. Κάθε σύστημα μπορεί να ολοκληρώσει διαφορετικές λειτουργίες για να επιτύχει την τελική-επικάλυψη υψηλής ποιότητας. Τα εξαρτήματα της επικάλυψης με ψεκασμό μαγνητρόν περιλαμβάνουν θάλαμο κενού, μηχανική αντλία, σύστημα δοκιμής κενού, αντλία διάχυσης λαδιού, σύστημα κενού, αντλία συμπύκνωσης, σύστημα ελέγχου σχηματισμού φιλμ κ.λπ.
Το κύριο σώμα της μηχανής επικάλυψης κενού διασκορπισμού magnetron είναι ο θάλαμος κενού. Το μέγεθος του θαλάμου κενού καθορίζεται από τα επεξεργασμένα προϊόντα. Το μέγεθος της επικάλυψης με ψεκασμό μαγνητρόν μπορεί να προσαρμοστεί. Ο θάλαμος είναι γενικά κατασκευασμένος από ανοξείδωτο χάλυβα και απαιτείται να είναι ισχυρός, ανθεκτικός και χωρίς σκουριά-. Ο θάλαμος κενού επικάλυψης με ψεκασμό μαγνητρόν έχει πολλές βαλβίδες σύνδεσης για τη σύνδεση διαφόρων βοηθητικών αντλιών.
Το σύστημα ελέγχου σχηματισμού μεμβράνης επικάλυψης με διασκορπισμό μαγνητρόν μπορεί να υιοθετήσει διαφορετικές μεθόδους, όπως σταθερό χρόνο επιμετάλλωσης, οπτική επιθεώρηση, ακραία παρακολούθηση και παρακολούθηση κρυσταλλικών κραδασμών. Οι μηχανές επίστρωσης κενού και οι μέθοδοι επίστρωσης μηχανών επίστρωσης κενού χωρίζονται επίσης σε διάφορες διαδικασίες. Τα κοινά χρησιμοποιούμενα περιλαμβάνουν επίστρωση εξάτμισης ιόντων και επίστρωση διασκορπισμού μαγνητρόν. Το στρώμα μεμβράνης που έχει επιμεταλλωθεί με ψεκασμό με μαγνητρόνιο έχει ισχυρή πρόσφυση και υψηλή καθαρότητα και μπορεί να διασκορπίσει μια ποικιλία υλικών με διαφορετικές συνθέσεις ταυτόχρονα.
