Πολλοί πελάτες μπερδεύονται όταν αγοράζουνμηχανές επίστρωσης κενού. Γνωρίζουν τον τύπο και το μοντέλο μηχανής επίστρωσης που χρειάζονται, αλλά δεν μπορούν να προσδιορίσουν ποια πρότυπα πρέπει να πληροί το μηχάνημα για να θεωρείται καλής ποιότητας και{1}}υψηλής ποιότητας. Αυτή η σύγχυση τους οδηγεί σε πολλές παρακάμψεις. Παρακάτω, το Puyuan Vacuum θα παρέχει μια λεπτομερή εισαγωγή στις βασικές τεχνικές απαιτήσεις που πρέπει να πληροί μια μηχανή επίστρωσης κενού.
Εξάτμιση υπό κενό, ιονισμός καθόδου, ψεκασμός μαγνητρονίων:
1.Η δομή των σωληνώσεων κενού και των εξαρτημάτων στατικής στεγανοποίησης στον εξοπλισμό θα πρέπει να συμμορφώνεται με το GB/T6070.
2.Θα πρέπει να εγκατασταθούν μετρητές κενού στους σωλήνες χαμηλής Εάν εντοπιστεί παρεμβολή από το ηλεκτρικό πεδίο, θα πρέπει να εγκατασταθεί μια διάταξη θωράκισης ηλεκτρικού πεδίου στη θύρα μέτρησης.
3.Εάν η κύρια αντλία που χρησιμοποιείται στον εξοπλισμό επίστρωσης PVD είναι αντλία διάχυσης, θα πρέπει να εγκατασταθεί μια παγίδα ατμών λαδιού στην πλευρά εισόδου της αντλίας.
4. Ο θάλαμος επίστρωσης του εξοπλισμού επίστρωσης κενού πρέπει να είναι εξοπλισμένος με παράθυρο παρατήρησης και διάταξη διαφράγματος. Το παράθυρο παρατήρησης θα πρέπει να επιτρέπει την παρατήρηση της κατάστασης λειτουργίας της πηγής εναπόθεσης και άλλων κρίσιμων στοιχείων.
5. Ο σχεδιασμός της πηγής εναπόθεσης επίστρωσης ιόντων θα πρέπει να μεγιστοποιεί τον ρυθμό ιονισμού κατά τη διάρκεια της διαδικασίας επικάλυψης, να βελτιώνει τον ρυθμό χρήσης του υλικού επικάλυψης, να ταιριάζει ορθολογικά με την ισχύ της πηγής εναπόθεσης και να τακτοποιεί ορθολογικά τη θέση της πηγής εναπόθεσης εντός του θαλάμου κενού.
6.Η συσκευή θέρμανσης πρέπει να είναι ορθολογικά διατεταγμένη. Γενικά, η διάταξη της δομής του θερμαντήρα πρέπει να εξασφαλίζει ομοιόμορφη αύξηση της θερμοκρασίας του τεμαχίου εργασίας που επιμεταλλώνεται.
7. Η βάση στήριξης του τεμαχίου εργασίας πρέπει να είναι μονωμένη από τον θάλαμο κενού και ο σχεδιασμός της βάσης του τεμαχίου εργασίας πρέπει να διασφαλίζει ότι το στρώμα μεμβράνης του τεμαχίου εργασίας είναι ομοιόμορφο.
8. Οι μηχανές επίστρωσης κενού ιόντων θα πρέπει γενικά να έχουν αρνητική τάση πόλωσης τεμαχίου εργασίας και τροφοδοτικό βομβαρδισμού ιόντων. Το τροφοδοτικό βομβαρδισμού ιόντων θα πρέπει να διαθέτει μια συσκευή για την καταστολή της μη φυσιολογικής εκφόρτισης και τη διατήρηση σταθερής λειτουργίας.
9.Οι τιμές αντίστασης μόνωσης μεταξύ διαφορετικών τμημάτων του θαλάμου κενού που συνδέονται με διαφορετικά δυναμικά πρέπει να συμμορφώνονται με το 4.4.6 του GB/T11164-1999.
10. Άλλες προφυλάξεις
(1) Θερμοκρασία περιβάλλοντος: 10-30 βαθμοί
(2) Σχετική υγρασία: όχι μεγαλύτερη από 75%
(3) Θερμοκρασία εισόδου νερού ψύξης: όχι μεγαλύτερη από 25 βαθμούς
(4) Ποιότητα νερού ψύξης: δημοτικό νερό βρύσης ή νερό ισοδύναμης ποιότητας.
(5) Τροφοδοσία: 380V τρι-τριφασικό 50Hz ή 220V μονοφασικό-50Hz (ανάλογα με τις ηλεκτρικές συσκευές που χρησιμοποιούνται). εύρος διακύμανσης τάσης: 342-399V ή 198-231V. εύρος διακύμανσης συχνότητας: 49-51Hz.
(6) Η πίεση, η θερμοκρασία και η κατανάλωση πεπιεσμένου αέρα, υγρού αζώτου, κρύου νερού, ζεστού νερού κ.λπ., που απαιτούνται από τον εξοπλισμό θα πρέπει να καθορίζονται στο εγχειρίδιο οδηγιών του προϊόντος.
(7) Το περιβάλλον του εξοπλισμού θα πρέπει να είναι καθαρό και ο αέρας να είναι απαλλαγμένος από σκόνη ή αέρια που θα μπορούσαν να προκαλέσουν διάβρωση ηλεκτρικών εξαρτημάτων ή άλλων μεταλλικών μερών ή αγωγιμότητα μεταξύ μετάλλων.
