Πρώτον, πρέπει να διευκρινίσουμε ότι η μόλυνση του θαλάμου κενού ουσιαστικά περιλαμβάνει διάφορες ακαθαρσίες (υδροατμοί, υδρογονάνθρακες, σκόνη, γράσο κ.λπ.) που προσκολλώνται στα τοιχώματα του θαλάμου ή στις επιφάνειες των εσωτερικών εξαρτημάτων, σχηματίζοντας πηγές αερίων και ατμών που διαταράσσουν την ισορροπία του περιβάλλοντος κενού. Αυτοί οι ρύποι προέρχονται από ένα ευρύ φάσμα πηγών, συμπεριλαμβανομένων υπολειμμάτων κοπτικού υγρού και λιπαντικού από την επεξεργασία του τεμαχίου εργασίας, ιδρώτα των χεριών κατά τη λειτουργία, αερομεταφερόμενη σκόνη, ακόμη και ίχνη ακαθαρσιών που εισάγονται από την αντλία κενού ή πτητικές ουσίες από το υλικό ή το υπόστρωμα-στόχο. Ανεξάρτητα από το είδος της μόλυνσης, η βασική στρατηγική ανάκτησης είναι «η ακριβής αφαίρεση των ακαθαρσιών χωρίς να καταστρέψει το υλικό του θαλάμου και την αποκατάσταση του περιβάλλοντος κενού». Διαφορετικοί τύποι μόλυνσης απαιτούν διαφορετικές μεθόδους ανάκτησης.
Μέθοδος 1: Θέρμανση για «εξάτμιση» ακαθαρσιών - Μέθοδος καθαρισμού με θέρμανση με ηλεκτρική σκούπα Αυτή είναι η πιο βασική και ευρέως χρησιμοποιούμενη μέθοδος αποκατάστασης. Η αρχή είναι πολύ απλή: ακριβώς όπως το στέγνωμα των ρούχων με λεκέδες νερού, η θέρμανση προκαλεί την εξάτμιση πτητικών ακαθαρσιών (όπως υδρατμοί και ήπιους υδρογονάνθρακες) στην επιφάνεια της κοιλότητας και στη συνέχεια αφαιρούνται με αντλία κενού, επιτυγχάνοντας έτσι τον καθαρισμό.
Μέθοδος 2: "Αποσύνθεση" ρύπων από υπεριώδη ακτινοβολία - Μέθοδος καθαρισμού με υπεριώδη ακτινοβολία. Εάν η μόλυνση της κοιλότητας αποτελείται κυρίως από υδρογονάνθρακες (όπως υπολειμματικά λιπαντικά και οργανικούς ρύπους), η μέθοδος καθαρισμού με υπεριώδη ακτινοβολία θα είναι πιο αποτελεσματική. Επιπλέον, δεν είναι-επαφή και μη-επιβλαβής καθ' όλη τη διάρκεια της διαδικασίας, καθιστώντας το ιδιαίτερα κατάλληλο για σενάρια με εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις υλικού, όπως οπτικές κοιλότητες ακριβείας και κοιλότητες κενού ημιαγωγών.
Μέθοδος 3: Απολύμανση «βομβαρδισμού» ιόντων - Μέθοδος καθαρισμού απόρριψης. Για κοιλότητες υψηλού κενού και εξαιρετικά{3}}υψηλού κενού (όπως εξοπλισμός επίστρωσης κενού και κοιλότητες εμφύτευσης ιόντων ημιαγωγών), η μόλυνση είναι συχνά πιο επίμονη, ειδικά ο άνθρακας και οι υδρογονάνθρακες στην επιφάνεια των κοιλοτήτων από ανοξείδωτο χάλυβα, που είναι δύσκολο να αφαιρεθούν με συνηθισμένες μεθόδους. Σε αυτή την περίπτωση, απαιτείται μέθοδος καθαρισμού εκκένωσης, η οποία είναι επίσης η βασική μέθοδος για τη βαθιά αποκατάσταση των κοιλοτήτων κενού.
Μέθοδος 4: «Ξέπλυμα» με αέριο απομακρύνονται ακαθαρσίες - Μέθοδος έκπλυσης με αέριο Εάν η κοιλότητα είναι ελαφρώς μολυσμένη ή εάν απαιτείται ταχεία ανάκτηση και συντόμευση του χρόνου εκκένωσης, η έκπλυση με αέριο είναι η καλύτερη επιλογή. Χωρίζεται σε έκπλυση με άζωτο και έκπλυση με αντιδραστικό αέριο, τα οποία είναι κατάλληλα για διαφορετικά σενάρια.
Έμφαση πρέπει να δοθεί στην προστασία μετά τη μόλυνση{0}: Μετά την αποκατάσταση, η κοιλότητα πρέπει να διατηρείται μακριά από λάδια και σκόνη. Θα πρέπει να λαμβάνονται προστατευτικά μέτρα κατά τη λειτουργία και η αντλία κενού πρέπει να συντηρείται τακτικά για να μειωθεί η πιθανότητα επαναμόλυνσης. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό σε τομείς με εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας, όπως οι ημιαγωγοί και η αεροδιαστημική, όπου η καθαρότητα της κοιλότητας καθορίζει άμεσα τη διάρκεια ζωής και την απόδοση του προϊόντος. Η καθαριότητα της κοιλότητας του κενού είναι η «σωσίβια» των διεργασιών κενού υψηλού-τελικού. Στην πραγματικότητα, με τον έλεγχο αυτών των τεσσάρων μεθόδων αποκατάστασης πυρήνων και την ευέλικτη επιλογή της κατάλληλης μεθόδου με βάση τον βαθμό μόλυνσης και το υλικό της κοιλότητας, τα προβλήματα μόλυνσης της κοιλότητας μπορούν να επιλυθούν εύκολα, εξασφαλίζοντας σταθερή λειτουργία του συστήματος κενού. Με την ανάπτυξη της βιομηχανίας κατασκευής ακριβείας, η τεχνολογία καθαρισμού με ηλεκτρική σκούπα επίσης αναβαθμίζεται συνεχώς, από τον παραδοσιακό καθαρισμό θέρμανσης έως τον φιλικό προς το περιβάλλον και αποτελεσματικό καθαρισμό εκκένωσης και πλάσματος. Όλο και περισσότερες μέθοδοι προστατεύουν την καθαρότητα των κοιλοτήτων κενού, προστατεύοντας την κατασκευή υψηλών-τελών.
Καλώς ήρθατε, επισκεφθείτε το Tiktokhttps://www.tiktok.com/@vacuum.coatingmachine για περισσότερα βίντεο μηχανών, ευχαριστώ.
