1. Προ-θεραπεία
- Καθαρισμός υποστρώματος: Υπερηχητική αποζημίωση + καθαρισμός πλάσματος (ισχύς 50-200W).
- Σφίξτε και τοποθέτηση: Βεβαιωθείτε ότι η απόσταση μεταξύ του υποστρώματος και της πηγής εξάτμισης είναι 20-50cm (επηρεάζοντας την ομοιομορφία του πάχους του φιλμ).
2. Στάδιο επικάλυψης
-Προεπιλογή: Εισαγωγή αερίου αργού (ρυθμός ροής 10-50Sccm) για να απομακρυνθεί τα οξείδια στην επιφάνεια του στόχου.
- Κύρια εναπόθεση:
-Επικάλυψη εξάτμισης: ρυθμός 0.1-10nm/s (ισχύς δέσμης ηλεκτρονίων 5-20kW).
-Ψεκασμό μαγνητρόνης: ρυθμός εναπόθεσης 0,01-1 μΜ/λεπτό (πίεση αερίου 0,1-1PA).
3. Μετά τη θεραπεία
-ανόπτηση και ενίσχυση (200-400 βαθμούς, 1-2 ώρες) για τη βελτίωση της προσκόλλησης φιλμ (δοκιμή γρατσουνιών μεγαλύτερη ή ίση με 5n).
