Αρχή λειτουργίας της μηχανής επίστρωσης πολλαπλών τόξων

Η μηχανή επικάλυψης πολλαπλών τόξων παράγει πλάσμα υψηλής θερμοκρασίας μέσω πολλαπλών πηγών τόξου (4-16), εξατμίζει το μεταλλικό υλικό και το καταθέτει στην επιφάνεια του υποστρώματος για να επιτευχθεί αποτελεσματική επικάλυψη (ομοιομορφία πάχους φιλμ ± 5%). Ο βασικός θάλαμος κενού χωρίζεται σε θάλαμο επικάλυψης (βαθμός κενού μικρότερο ή ίσο με 10^-3pa) και ένα θάλαμο προεπεξεργασίας. Ο πρώτος εξασφαλίζει ένα περιβάλλον χαμηλής βλάβης και το τελευταίο χρησιμοποιείται για τον καθαρισμό και το στίλβωμα υποστρώματος για τη βελτίωση της προσκόλλησης. Οι παράμετροι βασικών διεργασιών περιλαμβάνουν ισχύ πηγής τόξου (20-200Α), θερμοκρασία υποστρώματος (100-300 βαθμούς) και ρυθμό εναπόθεσης (1-10Nm/s), οι οποίες πρέπει να ρυθμίζονται δυναμικά σύμφωνα με το σχήμα του υποστρώματος (όπως σύνθετες καμπύλες επιφάνειες) και υλικό (μέταλλο/κεραμικό). Είναι κατάλληλο για σκηνές όπως ο οπτικός φακός αντι-αντανάκλασης και η σκληρή επίστρωση εργαλείων.